微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備C3N4薄膜的結(jié)構(gòu)研究
| 資料語言： | 簡(jiǎn)體中文 |
| 資料類別： | PDF文檔 |
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| 更新時(shí)間： | 2013-03-13 15:08:00 |
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物理學(xué)報(bào) 2001, Vol. 50 Issue (7): 1396-1400
顧有松1, 張永平2, 高鴻鈞2, 張秀芳2
(1)北京科技大學(xué)材料物理系,北京100083; (2)中國(guó)科學(xué)院物理研究所,凝聚態(tài)物理中心北京真空物理實(shí)驗(yàn)室,北京100080
STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
GU YOU-SONG1, ZHANG YONG-PING2, GAO HONG-JUN2, ZHANG XIU-FANG2
物理學(xué)報(bào) 2001, Vol. 50 Issue (7): 1396-1400
顧有松1, 張永平2, 高鴻鈞2, 張秀芳2
(1)北京科技大學(xué)材料物理系,北京100083; (2)中國(guó)科學(xué)院物理研究所,凝聚態(tài)物理中心北京真空物理實(shí)驗(yàn)室,北京100080
STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
GU YOU-SONG1, ZHANG YONG-PING2, GAO HONG-JUN2, ZHANG XIU-FANG2
引用本文:
張永平,顧有松,高鴻鈞 等 . 微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備C3N4薄膜的結(jié)構(gòu)研究. 物理學(xué)報(bào), 2001, 50(7): 1400.
Cite this article:
ZHANG YONG-PING,GU YOU-SONG,GAO HONG-JUN et al. STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION. Acta Phys. Sin., 2001, 50(7): 1396-1400.
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