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電子回旋共振等離子體源的數值模擬

2013-03-18 我要評論(0) 字號:
主題資源: 微波功率
資料語言: 簡體中文
資料類別: PDF文檔
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更新時間: 2013-03-18 10:12:35
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資料簡介

物理學報  2000, Vol. 49  Issue (3): 497-501

胡希偉1, 鄔欽崇2, 俞國揚2, 劉明海3
(1)中國科學技術大學近代物理系,合肥230026; (2)中國科學院等離子體物理研究所,合肥230031; (3)中國科學院等離子體物理研究所,合肥230031 中國科學技術大學近代物理系,合肥230026
 
Hu Xi-Wei1, Wu Qin-Chong2, Yu Guo-Yang2, Liu Ming-Hai3

摘要: 采用自洽微波功率吸收的二維混合模型,對電子回旋共振等離子體源中的各種物理參量(電離速率、等離子體密度、位勢、電子溫度)進行數值模擬.結果表明:等離子體參數隨運行條件(中性氣壓和微波功率)變化呈現出區域特征、飽和現象和振蕩行為等非線性現象

引用本文:   
劉明海,胡希偉,鄔欽崇 等 . 電子回旋共振等離子體源的數值模擬. 物理學報, 2000, 49(3): 501. 
Cite this article:   
Liu Ming-Hai,Hu Xi-Wei,Wu Qin-Chong et al. . Acta Phys. Sin., 2000, 49(3): 497-501. 

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