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毫米波硅基微機械屏蔽膜微帶線和濾波器

2014-03-17 我要評論(0) 字號:
主題資源: 微帶線  濾波器  毫米波
資料語言: 簡體中文
資料類別: PDF文檔
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更新時間: 2014-03-17 14:26:08
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毫米波硅基微機械屏蔽膜微帶線和濾波器

資料簡介

介紹了一種屏蔽膜微帶線,該型傳輸線為介質薄膜所支撐.周圍為空氣,并為金屬面所屏蔽,具有可忽略 不計的襯底損耗及色散效應.以及很小的輻射損耗。運用HFSS三維電磁場仿真軟件對毫米波屏蔽膜微帶線與濾波 器進行了仿真設計,運用MEMS工藝在兩層高阻硅襯底上進行了樣品的研制.樣品取得了良好的測試結果.其中屏 蔽膜微帶線插入損耗小于0.1 dB/mm。

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