Analyses of Radio Frequency(RF) Integrated Soft Magnetic Film Devices

文章首先介紹了在行波場存在的情況下，怎樣對射頻直到6GHz 頻率范圍內(nèi)的金屬軟磁薄膜的磁導(dǎo)率進(jìn)行測量。然后，在軟磁薄膜復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率分布圖的基礎(chǔ)上，系統(tǒng)地論述了金屬軟磁薄膜在射頻頻段范圍內(nèi)的應(yīng)用。這種磁膜用在工作頻率為2GHz 的繞有4 匝尺寸為200×400(μm2) 矩形螺旋線圈的鐵磁射頻集成電感器及在AC 場中，靈敏度為4.8×10-6Am-1/ HZ (6×10-12T/ HZ ) 的高頻載波型薄膜磁場傳感器（也被稱為GMI 傳感器）時具有最佳性能：L=7.9nH 和Q=12.7。文章對這兩種磁器件進(jìn)行了詳細(xì)分析。