據國防科技信息網報道，隨著微機電系統（MEMS）市場快速和多元化的發展，美國國家標準與技術研究院（NIST）推出一個測量工具，將幫助越來越多的器件設計師、制造商和用戶測量與器件關鍵性能有關8個參數和材料特性。

NIST開發的測試芯片（參考設備8096和8097）可作為質量保證工具，對來自不同實驗室或企業由不同設備制作的MEMS器件進行準確、可靠的比對。這些功能將使這些實驗室或企業更容易對工藝和校準儀器進行特征描述和排障。

MEMS源于半導體產業，之前主要用于汽車安全氣囊的加速度計。今天，MEMS已經擴展到眾多應用領域，特別是消費電子市場。例如，一個高端智能手機大概有10個MEMS器件，包括麥克風、加速度傳感器和陀螺儀等。MEMS器件也是平板電腦、游戲機、芯片實驗室診斷系統、顯示器和植入式醫療設備的重要組成部分。

根據Yole咨詢公司2012年6月的預測，全球MEMS產業的收入預計將從2011年的100億美元增長到2017年的210億美元。

廣泛使用的參考設備和標準測量方法可提高MEMS器件測試的效率，并減少成本和時間。行業認可的測量也可促進不同制造商的MEMS產品之間的互用性。

新的NIST參考設備是一種微機械結構，未來將集成微型懸臂、梁、樓梯型構件、微尺度尺子，以及測量表層厚度的測試結構。具體來講，NIST的測試芯片可以用來測量彈性（即楊氏模量）、殘余應變（應力）、應變（應力）梯度，以及厚度、階梯高度和長度。所有參數和材料特性的測量均符合國際半導體設備與材料協會（SEMI）和美國測試與材料協會（ASTM）的國際標準測試方法。

NIST電子工程師詹尼特·卡斯德解釋說，“參考設備和最佳實踐的測試方法為全行業提供利益。通常情況下，這些工具若由某一公司自行開發將非常昂貴。我們將與MEMS產業界一起促進這些標準測試方法和參考設備被廣泛接受和使用。”

8096測試芯片利用集成電路(IC)工藝生產，而8097測試芯片利用MEMS工藝生產。測試芯片附帶用戶手冊和數據分析表以提供測試支持，其他材料可以通過NIST數據網關與關鍵字“MEMS計算器”獲取。

（工業和信息化部電子科學技術情報研究所 胡開博）