美國外延沉積和工藝設(shè)備制造商維易科儀器公司與比利時(shí)歐洲微電子研發(fā)中心（IMEC）開展項(xiàng)目合作，以降低硅基氮化鎵功率器件和LED的成本。

IMEC的首席科學(xué)家巴潤·杜塔說：“維易科公司的有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備在生產(chǎn)率、重復(fù)性、均勻性及晶體質(zhì)量方面都有助于我們達(dá)到硅基氮化鎵LED和功率器件應(yīng)用開發(fā)里程碑，有助于研制最先進(jìn)的D模式（耗盡模式）和E模式（增強(qiáng)模式）功率器件。我們的目標(biāo)是建立一個完整的生產(chǎn)基礎(chǔ)設(shè)施，使硅基氮化鎵成為一項(xiàng)具有競爭力的技術(shù)。”

IMEC與多行業(yè)伙伴合作開展硅基氮化鎵研究及相關(guān)項(xiàng)目，采用200毫米硅基底及200毫米CMOS兼容的基礎(chǔ)設(shè)施開發(fā)氮化鎵LED及功率器件。通過IMEC的合作，各公司共享成本、人才和知識產(chǎn)權(quán)，開發(fā)先進(jìn)的技術(shù)，并盡快推向市場。

維易科儀器公司MOCVD的高級副總裁兼總經(jīng)理吉姆·杰姆森說：“我們自從2011年就與IMEC合作開發(fā)此項(xiàng)目，并為我們所取得的進(jìn)展感到鼓舞。我們的工作互惠互利，我們都專注于在使硅基氮化鎵器件性能保持世界一流的同時(shí)降低其成本。此項(xiàng)技術(shù)可用于研制低成本的用于固態(tài)照明的LED，以及用于電源及適配器、太陽能電池板的光伏逆變器、電動車的功率轉(zhuǎn)換的更高效的功率器件。

（工業(yè)和信息化部電子科學(xué)技術(shù)情報(bào)研究所 薛力芳）