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Globalfoundries與IMEC機(jī)構(gòu)簽署亞22nm節(jié)點(diǎn)制程CMOS技術(shù)合作計(jì)劃

2011-04-07 來源:cnbeta 字號(hào):

擁有阿拉伯財(cái)閥背景的Globalfoundries公司最近與歐洲半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu),比利時(shí)的IMEC簽署了一項(xiàng)關(guān)于在亞22nm節(jié)點(diǎn)制程CMOS技術(shù)和硅上氮化鎵(GaN-on-Si:可用于制造固態(tài)照明器件,功率器件和射頻電路器件等)技術(shù)結(jié)成長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作伙伴的合作協(xié)議。

IMEC并沒有透露雙方這次合作協(xié)議的年限,以及IMEC從這項(xiàng)合作中能得到多少金額的營(yíng)收等協(xié)議細(xì)節(jié)內(nèi)容,僅稱 Globalfoundries已成為IMEC的CMOS技術(shù)核心合作伙伴。除了Globalfoundries之外,臺(tái)積電,Intel,三星,爾必達(dá),Hynix等公司也與IMEC存在研發(fā)合作關(guān)系。

IMEC的亞22nm CMOS研究項(xiàng)目的目標(biāo)是開發(fā)出可供量產(chǎn)的邏輯/存儲(chǔ)用芯片產(chǎn)品制程工藝。項(xiàng)目的內(nèi)容包含從下一代IC芯片制造用材料及設(shè)備結(jié)構(gòu)研究,制造用器具,制造工序安排,制程整合等各個(gè)方面,還包括22nm下一代制程技術(shù)的開發(fā)和研究。另外,Globalfoundries還將加入IMEC的EUV光刻技術(shù),邏輯 /存儲(chǔ)芯片結(jié)構(gòu)技術(shù),納米級(jí)互連技術(shù)以及3D芯片整合技術(shù)的研究項(xiàng)目中去。

與此同時(shí),Globalfoundries還加入了IMEC的氮化鎵研究計(jì)劃,該項(xiàng)目的目標(biāo)是研發(fā)出高性能高費(fèi)效比的硅上氮化鎵固態(tài)照明技術(shù),力圖在 200mm尺寸的硅晶圓襯底上采用硅上氮化鎵制程研發(fā)出適用的硅上氮化鎵制程技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)研發(fā)成功之后,砷化鎵器件在功率器件,射頻電路器件等應(yīng)用場(chǎng)合均可獲益。

除了與IBM領(lǐng)導(dǎo)的Fishkill制造技術(shù)聯(lián)盟展開合作之外,GlobalFoundries一直在發(fā)展有自家特色的制程研發(fā)能力。不過 GlobalFoundries的發(fā)言人此地?zé)o銀三百兩地表示:“與IMEC的合作將是我們現(xiàn)有研發(fā)項(xiàng)目的一個(gè)補(bǔ)充,不會(huì)影響到我們與其它機(jī)構(gòu)/公司如 IBM,CNSE,Sematech等主要合作伙伴的合作關(guān)系。”

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