[據(jù)美國《RAYTHEON TECHNOLOGY TODAY 2012 ISSUE 1》報(bào)導(dǎo)]下一代雷達(dá)、通信和電子戰(zhàn)系統(tǒng)，特別是采用高功率氮化鎵基射頻的器件將得益于先進(jìn)的熱管理方法，去除由這些系統(tǒng)產(chǎn)生的大量熱。在半導(dǎo)體工業(yè)采用的材料中，金剛石的熱導(dǎo)率最高，是銀材料的三倍，而雷神公司采用化學(xué)氣相沉積工藝生產(chǎn)的光學(xué)質(zhì)量的金剛石的熱導(dǎo)率更高。

　　雷神公司的金剛石是將甲烷和氫氣在微波等離子輻射狀態(tài)下，采用化學(xué)氣相沉積工藝進(jìn)行人工合成的。微波等離子化學(xué)氣相沉積工藝生產(chǎn)的金剛石質(zhì)量最高。其它方法，如熱燈絲化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)的金剛石質(zhì)量低，由于熱燈絲中不純物質(zhì)的摻雜，使其熱導(dǎo)率也低。據(jù)報(bào)導(dǎo)，雷神公司的金剛石沉積反應(yīng)裝置能夠制造5英寸直徑的金剛石零件。

　　金剛石在雷神公司的作用主要是熱管理，尤其是消散由諸如氮化鎵高電子遷移率場效晶體管這類高功率器件所產(chǎn)生的大量熱負(fù)荷，因?yàn)楦呓Y(jié)點(diǎn)溫度會(huì)降低射頻器件性能并且降低其可靠性。降低溫度的通常做法是增大間距和減小功率密度，但這兩種方法會(huì)增加單片微波集成電路尺寸和成本，并減少輸出功率。雷神公司開發(fā)的新型解決方案是將金剛石直接集成到器件結(jié)構(gòu)中，大大提高基片的熱傳輸能力，從而提高功率處理能力。(中國航空工業(yè)發(fā)展研究中心 任曉華)