近日，五十五所與華為公司共同研發(fā)的E波段MEMS雙工器技術(shù)取得重大突破，研制出國產(chǎn)首款MEMS波導(dǎo)型雙工器。9月28日，雙方聯(lián)合研發(fā)團隊在五十五所對研制的E波段MEMS雙工器進行比對測試，產(chǎn)品性能與國外著名MEMS代工產(chǎn)線的樣品性能相媲美，完全滿足華為應(yīng)用需求。該E波段MEMS雙工器采用了五十五所自主開發(fā)的MEMS濾波器工藝Know-How技術(shù)，優(yōu)化精簡了雙工器工藝流程，與國外代工線相比，在性能相當?shù)那闆r下，顯著降低了生產(chǎn)成本。E波段MEMS雙工器將國產(chǎn)MEMS濾波器頻率提升到E波段,產(chǎn)品的研制成功將極大推動我國高頻寬帶濾波器核心器件研制進程。

今年5月開始，中國電科首席專家朱健團隊與華為公司器件首席專家謝榮華團隊就聯(lián)合開發(fā)E波段MEMS雙工器進行了正式合作洽談，雙方從設(shè)計、工藝、低成本等多方面展開了研討。會后五十五所積極響應(yīng)，針對華為公司不同應(yīng)用的側(cè)重點，在一周之內(nèi)拿出了分布實施的三套技術(shù)方案，并在短短1個月內(nèi)就研制出首輪E波段雙工器樣品。

據(jù)悉，五十五所MEMS濾波器團隊距2005年開發(fā)出國產(chǎn)首款MEMS濾波器產(chǎn)品至今，已開發(fā)出L-Ka波段千余款系列MEMS產(chǎn)品；針對華為的5G通信需求，已推出28 GHz、42GHz等MEMS濾波器產(chǎn)品。