SPTS 科技為中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 (SIMIT) 裝置其公司在中國的第一套氫氟酸蒸汽釋放蝕刻系統(tǒng)
干法蝕刻技術(shù)將應(yīng)用于制造微機電系統(tǒng)加速計

英國紐波特2012年3月21日電 /美通社亞洲/ -- SEMICON China 2012 -- SPTS 科技是全球半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場的高級晶圓加工解決方案供應(yīng)商。公司今天宣布裝置其公司在中國的第一套氫氟酸蒸汽 (VHF) 蝕刻系統(tǒng)。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 (SIMIT) 將利用此 Primaxx? Monarch 3 系統(tǒng)于微機電系統(tǒng) (MEMS) 干法釋放蝕刻應(yīng)用。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所是隸屬于中國科學(xué)院 (CAS) 的綜合性研究院，從事基礎(chǔ)和應(yīng)用研究。中國上海市中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究室將接受此系統(tǒng)。

氫氟酸蒸汽是微機電系統(tǒng)生產(chǎn)過程中一種用于去除犧牲氧化層的干蝕刻劑法。由于傳統(tǒng)的濕法蝕刻會造成粘連，采用氫氟酸蒸汽蝕刻既防止裸露的鋁氧被化，又能滲透結(jié)構(gòu)較小的部件。在傳統(tǒng)的濕蝕刻制程當(dāng)中，微結(jié)構(gòu)和襯層被拉扯的過程導(dǎo)致液體表面張力的腐蝕劑干燥現(xiàn)象，造成粘連，并損壞設(shè)備結(jié)構(gòu)。SPTS 專屬的氫氟酸蒸汽方案避免了這些問題，從而提高器件良率。

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的楊恒教授說：“在微機電加速計制造項目中，我們選擇 SPTS 的氫氟酸釋放系統(tǒng)，以干法釋放步驟避免粘連，解決了傳統(tǒng)的濕法氫氟酸蝕刻中普遍存在的問題。SPTS 在極寬的工藝參數(shù)中所展示的穩(wěn)定性和可重復(fù)性顯示出對其工藝的專業(yè)技術(shù)。我們也樂于依賴經(jīng)驗豐富，能提供及時的本地客戶支持的合作廠商。”

SPTS Primaxx 產(chǎn)品部的高級總監(jiān)兼總經(jīng)理 Paul Hammond 說：“我們?yōu)榇水a(chǎn)品線建立在中國的第一個客戶這個里程碑感到驕傲。我們的專利干法蝕刻技術(shù)用于滿足各種客戶需求 -- 從研發(fā)或試生產(chǎn)到全面微機電系統(tǒng)生產(chǎn)，都為我們的全球客戶（尤其是像中國這么發(fā)展迅速的市場）做出提高產(chǎn)量的貢獻(xiàn)。”

Primaxx Monarch 3 系統(tǒng)具有一個 3 晶圓加工腔室，可以提高產(chǎn)量，同時還可以選擇晶圓加載選項。 可重復(fù)性的高產(chǎn)量晶圓制造工藝就意味著正常運行時間長，系統(tǒng)擁有成本低。

關(guān)于SPTS Primaxx釋放蝕刻法
SPTS 為全球降壓干法蝕刻系統(tǒng)領(lǐng)先供應(yīng)商。此氧化物蝕刻步驟是用于微機電生產(chǎn)中關(guān)鍵的工藝。SPTS 采用的專利制程可以更好地控制反應(yīng)，提高蝕刻均勻性，為結(jié)合無水氫氟酸氣體和降壓酒精蒸氣提供了一個廣泛的，穩(wěn)定的工藝窗口，不但可以解決不同氧化成分和厚度，也同時保持較高的選擇性在微機電設(shè)計中常見的材料（如鋁）。Primaxx 的干法釋放工藝還消除粘連，減少傳統(tǒng)的濕法技術(shù)中常見的量殺的現(xiàn)象。

關(guān)于 SPTS 科技
SPTS 科技(Bridgepoint 旗下股份公司)是一家致力于設(shè)計、制造、銷售和支持蝕刻、PVD、CVD、傳熱晶圓處理系統(tǒng)的公司。其科技的終端應(yīng)付市場包括微機電系統(tǒng) (MEMS)、高級封裝、LED、砷化鎵 (GaAs) 高速射頻器件和功率管理器件。該公司主要生產(chǎn)地包括英國紐波特，美國圣荷西和賓夕法尼亞州阿倫敦鎮(zhèn)，生意遍布全球歐、美、亞、三大洲內(nèi)十九個國家。欲了解有關(guān) SPTS 科技的更多信息，請訪問 www.spts.com
消息來源: SPTS Technologies Ltd