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SAW/FBAR設備的工作原理及使用范例
材料·結構
構成SAW設備的基本要素就是上面所說的叉指式換能器(IDT)和反射器(Grating)。要反射波長λ的彈性表面波,則需在反射器上設置λ/2的間距,并連接多個電極等反射源等,由此可以從總體上獲得較大的反射率。下面介紹幾臺使用了IDT或反射器的SAW設備結構。
圖3
SAW諧振器
圖4
圖5
在通過IDT激勵的SAW的傳播方向設置反射器,由此可以引發(fā)諧振。利用了這個特性的彈性表面波設備就是SAW諧振器。只有一個IDT時稱作單端口諧振器,而在兩個反射器之間設置了2個帶有輸入、輸出端子的IDT時稱作雙端口諧振器,根據(jù)IDT之間的傳輸特性,有時也可作為濾波器使用。
橫向型
圖6
橫向型大多用于TV用IF濾波器或BS接收器用濾波器等。通過對波的電極指公差范圍的調(diào)整,可以設計具有靈活性的頻率特性。
梯型
圖7
圖8
現(xiàn)在SAW設備已經(jīng)被廣泛應用于手機等設備。這里使用的結構大致可以分為2種。一種是被稱為梯型的濾波器,即將上述單端口諧振器連接成梯型狀態(tài)的濾波器。