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基于石墨烯的場效應管概念

2013-10-18 來源:微波射頻網 字號:

場效應管(FET)是一種具有pn結的正向受控作用的有源器件,它是利用電場效應來控制輸出電流的大小,其輸入端pn一般工作于反偏狀態或絕緣狀態,輸入電阻很高,柵極處于絕緣狀態的場效應管,輸入阻抗很大。目前廣泛應用的是SiO2為絕緣層的絕緣柵場效應管,稱為金屬-氧化物-半導體場效應管,簡稱MOSFET。以功能類型劃分,MOSFET分為增強型和耗盡型兩種,其中耗盡型與增強型主要區別是在制造SiO2絕緣層中有大量的正離子,使在P型襯底的界面上感應出較多的負電荷,即在兩個N型區中間的P型硅內形成一層N型硅薄層而形成一個導電溝道,所以在VGS=0時,有VDS作用時也有一定的ID(IDSS);當VGS有電壓時(可以是正電壓或負電壓),改變感應的負電荷數量,從而改變ID的大小。VP為ID=0時的-VGS,稱為夾斷電壓。

MOSFET的特點是用柵極電壓來控制漏極電流。隨著微電子集成化的需要越來越高,FET器件的尺寸也越來越小,而普通FET器件散熱性受材料本身限制很難有進一步的提高,石墨烯由于其優良的熱導率制作出的FET器件“完美”的解決該問題。

自從場效應管發明以來,人們一直嘗試將電場效應應用到金屬材料上,制造金屬基場效應管。利用金屬制造晶體管不僅可以將尺度做小,而且可以降低功耗,并且使用頻率高于傳統半導體.但是由于金屬屏蔽效應,電場在金屬中的穿透深度小于 1nm,因此制造金屬晶體管時需要使用原子級厚度的金屬薄膜。但是由于熱動力學原因,當金屬薄膜達到納米級別時不能穩定存在。另外,對于金屬而言,電場效應誘導的載流子濃度一般不會超過 1013cm-2,比納米尺度的金屬薄膜中的本征載流子濃度低幾個量級(近似可以忽略),通過電場效應很難實現調制載流子濃度,因此利用金屬制造晶體管一直沒有實現。

半金屬 Graphene不僅具有高載流子濃度和載流子遷移率,亞微米尺度的彈道輸運特性和電場調制載流子特性,而且可以在室溫下穩定存在,為 Graphene的實用化奠定了基礎。利用 Graphene制造的晶體管可以實現低功耗、高頻率、小型化等特性。由于 Graphene是半金屬性材料 (semi- metal),在狄拉克點處能帶交疊,沒有帶隙,因此很難實現開關特性。為了使 Graphene可以應用于晶體管的制造,通過各種方法在 Graphene中形成帶隙:

(1)通過對稱性破缺場或相互作用等使Graphene簡并度降低,朗道能級發生劈裂,在導帶與價帶之間引入能隙。這方面工作目前主要集中在雙層Graphene上,通過摻雜、外加電場以及基底作用誘導等方式引入對稱破缺,實現人工調制能隙。

(2)對于弱無序體系,被弱屏蔽的庫侖相互作用可以改變帶粒子圖景,使 Graphene出現能隙 (量子霍爾鐵磁)。

(3)通過尺寸效應或量子受限 (如Graphene nanoribbons)引入能隙。Barone等人通過密度泛函計算預言,對于手性納米帶,導帶與價帶間的帶隙隨著手性角的變化發生振蕩。對于某些類型的Graphene納米帶,通過調節納米帶寬,也可以實現對帶隙寬度的調節 (能隙與納米帶寬之間存在反比關系)。

本項目將結合我們的研究優勢對石墨烯開展深入系統的特色研究,從理論模擬、材料制備、器件制作三個層面開展全面工作,力求對中國軍事的發展起到積極的推動作用。本項目針對石墨烯這一新物質形態的關鍵問題及前沿發展動態,結合我們自身的工作基礎,以大面積、高質量石墨烯材料的可控制備為主要突破口,以石墨烯基超高頻器件MOSFET應用為導向,最終制備出具有一定功能的電路模塊。強調理論、材料和器件之間的互相促進與合作,有針對性地對石墨烯的若干基本科學問題開展研究,例如:探索高質量石墨烯的可控、晶圓級制備方法;測量其電、光、熱、力學等宏觀特性和局域性能,研究結構與物性的關聯;研制基于石墨烯的超高頻MOSFET器件和功能電路等,力求對中國軍事裝備特別是下一代武器用超高頻元器件的發展起到積極的推動作用。

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