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微波電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法沉積氟化非晶碳薄膜的研究
使用三氟甲烷和苯的混合氣體,利用微波電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法制備了F/C比在0.11—0.62之間的α-C∶F薄膜.
更新時(shí)間：2013-03-14星級(jí)：大小：336KB -
介質(zhì)諧振器法測(cè)量高溫超導(dǎo)薄膜微波表面電阻的誤差分析
用微擾法研究了兩端接地型藍(lán)寶石介質(zhì)諧振器測(cè)量高溫超導(dǎo)薄膜微波表面電阻RS的誤差與幾何結(jié)構(gòu)和工作頻率的關(guān)系.
更新時(shí)間：2013-03-14星級(jí)：大小：157KB -
電流變液的微波透射調(diào)控行為
更新時(shí)間：2013-03-13星級(jí)：大小：234KB -
微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備C3N4薄膜的結(jié)構(gòu)研究
采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法,用高純氮?dú)?99.999%)和甲烷(99.9%)作反應(yīng)氣體,在單晶Si(100)基片上沉積C3N4薄膜.
更新時(shí)間：2013-03-13星級(jí)：大小：215KB -
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微波輸入功率引起a-C∶F薄膜交聯(lián)結(jié)構(gòu)的增強(qiáng)
更新時(shí)間：2013-03-13星級(jí)：大小：221KB -
氟化非晶碳薄膜的光學(xué)帶隙分析
研究了CHF3C6H6沉積的氟化非晶碳(αC∶F)薄膜的光學(xué)帶隙.發(fā)現(xiàn)αC∶F薄膜光學(xué)帶隙的大小取決于薄膜中C—F,CC的相對(duì)含量.
更新時(shí)間：2013-03-12星級(jí)：大小：167KB
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